AVTOMATLASHTIRILGAN BOSHQARUV TIZIMLARI UCHUN KOMPOZITSION MATERIALLAR ASOSIDA SAMARALI KO‘P FUNKSIYALI XARORAT VA NAMLIK DATCHIKLARINI YARATISH.
Keywords:
kristalli, kremniy, gofretlar, datchik, Silikon, abraziv, suspenziya, po'lat pichoqlarAbstract
Monokristalli kremniy ingotlarini gofretlarga kesish quyidagi usullardan biri bilan amalga oshiriladi: olmosli tashqi yoki ichki chetiga ega disklar bilan kesish; po'lat pichoqlar yoki abraziv osma sim bilan kesish; abraziv ultratovushli ishlov berish orqali kesish; elektroeroziv kesish; elektron yoki lazer bilan kesish. Bu usullarning har biri bir-biridan unumdorligi, mexanik shikastlangan qatlamning chuqurligi, foydali materialning chiqishi, yarim o'tkazgich materialini yig'ish va tiklash imkoniyati va turli shakldagi kristallarni olish imkoniyati bilan farqlanadi.
References
“HUMIDITY SENSORS BASED ON COMPOSITE MATERIAL WITH NANODIMENSIONAL STRUCTURES”. Euroasian Journal of Semiconductors Science and Engineering, 2(3), 36. Egamberdiev, B., Isroilov, F., & Rahmatullaev, C. (2020).
“STUDY OF FORMATION OF CLUSTERS OF ATOMS OF GADOLINIUM IN SILICON”. Journal of Critical Reviews, 7(3), 297-301. Egamberdiyev, B. E., Tachilin, S. A., Toshev, A. R., Isroilov, F. M., & Dehkanov, M. S. (2020).
“ISSLEDOVANIE ELEKTROFIZICHESKIX SVOYSTV KREMNIYA LEGIROVANNOGO MARGANSEM METODOM” «nizkotemperaturnoy
diffuzii».//Neorganicheskie materialы. M.K. Baxadыrxanov, G.X. Mavlonov, S.B. Isamov, K.S. Ayupov, X.M. Iliev, Z. Saparniyazova, S.A. Tachilin.