TEMIR IONLARI BILAN QOPLANGAN KREMNIYNING ISSIQLIKA TA’SIRI
Abstract
Kremniyning temir ionlari bilan implantatsiyasi, magnit nanoklasterlar va metall silisidlarni yaratish uchun ishlatiladi. Temir kompensatsiyalovchi nopoklik sifatida tanlash keng harorat oralig'iga ega ekanligi, aralashma atomlari va kremniy panjarasining holati ancha barqaror (100-450 "C) va shunga mos ravishda parametrlari bilan bog'liq. kremniy ular bilan qoplangan. Ushbu
parametrlar bilan temirni kremniyga doping qilish texnologiyasi ishlab chiqilgan va amaliy sanoat darajasida o'zlashtirilgan va diffuziya qotishmasidan keyin qo'shimcha operatsiyalarni (mexanik, kimyoviy va boshqalar) talab qilmaydi. 100 sm dan ortiq, etarlicha katta maydondagi kremniy gofretlarida temir qotishma bo’lishi mumkin, bu qayta tiklanadigan parametrlarga ega bo'lgan konvertorlar haroratini sanoat va seriyali ishlab chiqarish uchun juda muhimdir.
References
Лопатин О.Н. Ионная имплантация минералов и их синтетических аналогов. Саабрукен: Изд. дом ЛАП. 2011. - 206 с.
Эгамбердиев Б.Э., Маллаев А. С. Кремниевые силицидные структуры на основе ионного легирования. Т.:изд. «Наука и технология» 2019г. 168с.
Б.Э Эгамбердиев, А.Т.Рахманов и др. "Исследование методом POP профиля распределения ионно-имплантированных атомов железа в кремнии ". Science and world, 2018, vol.1, №1(53), с.57-60
Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Кремний-материал наноэлектроники. М.: Техносфера,2007.352с.
POSSIBILITIES OF USING YENKA PROGRAM TECHNOLOGY TO TEACH PHYSICS Eshkulov Muhriddin Urozboy ogli. MU Eshkulov, AA Shermukhammedov
FIZIKANI O'QITISHDA AXBOROT SAYTLARIDAN FOYDALANISH IMKONIYATLARI. A Shermukhammedov, M Eshqulov, S Qushaqov-Engineering problems and innovations, 2023
МНОГОПАРАМЕТРИЧЕСКАЯ ОПТИМИЗАЦИЯ АЛГОРИТМА ОБРАБОТКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ДАННЫХ ТРАНСПОРТНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛЯ ДИЭЛЕКТРИКОВ. Мухриддин Эшкулов, Шерзод Кушаков, Абдулатиф Шермухаммедов. НАУЧНОЕ ОБОЗРЕНИЕ 3.11.2023
